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Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
标准类型:国家标准
标准属性:推荐性
标准状态:废止
国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位北京有色金属研究总院。
标准号:GB/T 8758-1988发布日期:1988-02-25实施日期:1989-02-01废止日期:2006-12-31标准类别:方法中国标准分类号:H21国际标准分类号:77.040.30 归口单位:中国有色金属工业协会执行单位:中国有色金属工业协会主管部门:中国有色金属工业协会
北京有色金属研究总院
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法20240143-T-469 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
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