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Determination of carrier concentration in gallium arsenide by the plasma resonance minimum
标准类型:国家标准
标准属性:推荐性
标准状态:现行
国家标准《砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)、全国有色金属标准化技术委员会联合归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京有色金属研究总院。
主要起草人王彤涵 。
标准号:GB/T 8757-2006发布日期:2006-07-18实施日期:2006-11-01全部代替标准:GB/T 8757-1988标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040.01 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国有色金属标准化技术委员会副归口单位:全国有色金属标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委
北京有色金属研究总院
王彤涵
GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法GB/T 19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法SJ/T 11496-2015 红外吸收法测量砷化镓中硼含量SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法
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