GB/T 24582-2009《酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质》

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：废止

国家标准《酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位新光硅业科技责任有限公司。

主要起草人王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。

基础信息

标准号：GB/T 24582-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01废止日期：2024-03-01标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

新光硅业科技责任有限公司

起草人

王波过惠芬敖细平吴道荣梁洪

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