GB/T 34091-2017《电子工业用气体六氟乙烷》

Gas for electronic industry—Hexafluoroethane

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《电子工业用气体六氟乙烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。

主要起草人史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云。

基础信息

标准号：GB/T 34091-2017发布日期：2017-07-31实施日期：2017-11-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

浙江省化工研究院有限公司四川中测标物科技有限公司西南化工研究设计院有限公司东莞市联臣电子科技有限公司天津长芦华信化工股份有限公司广东华特气体股份有限公司高麦仪器公司上海华爱色谱分析技术有限公司国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）中昊光明化工研究设计院有限公司

起草人

史婉君廖恒易方正潘义王鸿陈熔李健周鹏云杜汉盛白占旗牛艳东方华林宇巍邓建平

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