GB/T 26068-2018《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法》

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位有研半导体材料有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、广州市昆德科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司。

主要起草人曹孜、孙燕、黄黎、赵而敬、徐红骞、高英、石宇、楼春兰、王昕、张雪囡、林清香、刘卓、肖宗杰。

基础信息

标准号：GB/T 26068-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2019-11-01全部代替标准：GB/T 26068-2010标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料有限公司中国计量科学研究院广州市昆德科技有限公司天津市环欧半导体材料技术有限公司瑟米莱伯贸易（上海）有限公司浙江省硅材料质量检验中心江苏协鑫硅材料科技发展有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司

起草人

曹孜孙燕徐红骞高英王昕张雪囡肖宗杰黄黎赵而敬石宇楼春兰林清香刘卓

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